Общ преглед

Полупроводниковите производствени заводи, центровете за нанотехнологии, нанофасториите и други прецизни производствени и изследователски центрове често комбинират чисти стаи с активни фалшиви наземни системи, за да отговарят на сложните изисквания на съоръженията (тръбопроводи, кабели, газопроводи и др.) и да поддържат строги стандарти за чистота. Тази земя не е подходяща за производство, изпитване и измерване на оборудване, чувствително към вибрации. Действащите земи не могат да осигурят необходимата тиха вибрационна среда за тези инструменти. TMC Quiet Island предлага иновативно решение, заменяйки част от активната повърхност с "тих остров", фиксиран на долната част на земята. Quiet Island включва горната част на платформата, която е съвместима с чистата стая, и специфична за приложението и мястото поддържаща структура.

обезвреждане

Основните поддържащи компоненти и основните технологии на Quiet Island** са интегрирани в системата за активно обезвреждане STACIS III. Тази "твърда" система за поддръжка на инерцията е идеална за всеки вибрационно чувствителен инструмент и позволява на такива инструменти да работят с високи стандарти в шумна среда. STACIS III е съвместим с автоматизирани инструменти за обработка на пластини, инструменти за изображение на електронни лъчи с висока резолюция, инструменти за фрезиране на ионни лъчи и всеки инструмент с пасивна или активна вътрешна изолационна система (вижте нашата бяла книга за стекуването на активни изолатори върху активни изолатори). Освен това осигурява изолация от вибрации в широк честотен диапазон. И "твърд монтаж" дизайн е много твърд, така че за по-високи и леки инструменти няма проблеми със стабилността.

Тръби и стойки

Изключително издръжливите тръби за подпомагане на изолаторите STACIS са проектирани от опитния инженерен екип на TMC и произведени от нашата фабрика по ISO 9001 в съответствие с високи стандарти и сертифицирани спецификации за заваряване. Всеки тих остров е внимателно проектиран за всякакви височини на повърхността, геометрии на подземното ниво и размери на инструментите. С хиляди инсталирани устройства, поддържащи повече от 200 различни модела инструменти по целия свят, TMC разполага с богати знания и опит за проектиране на поддържащи структури, които отговарят на нуждите на STACIS и вашите съоръжения.

Твърда платформа

Платформата се състои от 4-инчова (100 мм) дебелина на стоманена плоча, проектирана и произведена от TMC, в която стоманената плоча се закрива около лек, нестискаем, амортизиращ ядрен материал. Ефектът на слоевизация на твърда стоманена плоча и ядро с епоксидна смола в безпроблемна плоча от неръждаема стомана осигурява изключително висока твърдост и структурно амортизация. Големите сечения и съдържанието на стомана създават много висока обща твърдост. Горната и страничната част са непрекъснати корпуси от неръждаема стомана, които поддържат чистотата, красотата и целостта. TMC може да проектира и произвежда специфични за приложението платформи, включително резки, специални форми, фиксиращи отвори и висящи болтове.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Предимства на тихия остров

Приема активна пизоелектрическа обезвреждане технология STACIS - TMC индустрия**, дизайн "твърд монтаж" и изолация от 0,6 Hz, съвместима с вградени изолатори.

Гъвкавост при модулиране, персонализиране и пренасочване - всяка платформа е адаптирана към приложението на клиента, но за разлика от бетонните платформи, които могат лесно да бъдат преконфигурирани, ако инструментите или характеристиките на земята се променят.

Експертизъм - TMC разполага с богат опит в сътрудничеството с производители на полупроводници, научни изследователски институции и производители на супер-прецизни OEM. Разбираме клиентите и техните нужди. Проектираме и произвеждаме сами.

Производителност

На 24-инчовия, 40-инчов x 60-инчов Quiet Island, на четири стойки STACIS,
Измерване на пропускната способност при входа VC-C от земята

спецификации

Спецификации за производителност

Изисквания за конструкция, размери, околна среда и полезност на изолатора

Контролер DC-2020

Други параметри

ДругиНастройка на тихия остров

Големите инструменти без спецификации за вибрация на околната среда обикновено изискват твърда и стабилна стойка, отделена от движещата се земя. Твърдият тих остров е идеалното решение. Твърдият Quiet Island разполага със същата високопроизводителна горна част на платформата и може да бъде проектиран по поръчка за мобилни чисти стаи на всяка височина, всяка геометрия на дъното и различни размери на инструменти. TMC предлага набор от различни видове стълбове, които отговарят на различни изисквания, като по този начин образуват модулни, гъвкави решения, които могат да бъдат пренасочени и модернизирани, специфични за инструментите и заводите.

Прилагане на снимки

Тъй като е инсталиран на нашия тих остров ® Сложността, чувствителността и стойността на оборудването на подземните платформи, ние не създаваме стандартен каталог за поръчкиНе.

Смятаме, че всяка платформа трябва да бъде специално проектирана за конкретните приложения. Препоръчаните стъпки за поръчка са следните:

▪ Кажете ни какво устройство или инструмент искате да изолирате. Тъй като сме инсталирали хиляди устройства, вероятно вече имаме платформа, която отговаря на изискванията на вашето приложение. Освен това поддържаме тесни връзки с производителите на стъпки, изравнители, SEM и други инструменти, така че знаем за новите размери, форми, промени в теглото и спецификации за повърхностни вибрации.

▪ Или може да искате платформа, която е подходяща за движещи се земни мрежи. Клиентите обикновено избират платформи с размери 47 х 47 инча (1190 х 1190 мм), за да заменят парните плочки.

▪ Кажете ни, че повърхността на вашата дейност е по-висока от твърдото дъно.

▪ Моля, опишете или предоставете ни илюстрация, която показва всеки модел на дупка във вашата геометрия на дъното или стоманените греди / решетки.

▪ Моля, предоставете ни данни за земните вибрации или обсъдете с нас как да организирате измерването на тези данни.

▪ Помислете за чувствителността на вибрацията на инструмента. Нашият твърд, нерезонантен дизайн на стълба осигурява достатъчна подкрепа за много инструменти. По-чувствителните приложения ще изискват въздушна или пизоелектрическа подкрепа