Suzhou индустриален парк Huiguang Technology Co., Ltd.
Дом>Продукти>Система за проверка на вафери от серията AWL
Система за проверка на вафери от серията AWL
Системите за проверка на ваферите от серията AWL са едновременно стабилни и сигурни, осигурявайки безопасно и надеждно транспортиране на вафери, подхо
Данни за продукта

AWL 系列晶圆检查系统

AWL 系列晶圆检查系统的显微镜


В момента AWL серия вафелни носители имат AWL046, AWL068 два модела, които могат да бъдат приложими за откриване на вафелни 4/6 инча, 6/8 инча вафелни откриване, широк обхват на адаптация и гъвкав, свободно настройваем режим на проверка, напълно в съответствие с ергономичния дизайн, удобна и лесна работа.

серията AWLПредимства на системата за проверка на ваферите

360° макро проверка

360°宏观检查

Системата за проверка на ваферите от серията AWL разполага с макроинспекционна ръка, която може да постигне 360 ° въртене на кристалната макроинспекция и кристалната гърбова макроинспекция 1, за да улесни откриването на рани и прах. Наклонът на ваферата може да бъде наблюдаван чрез упражняващата пръчка. Угълът на наклон на кристала ≤ 70 °, ъгълът на наклон на кристала 1 ≤ 90 °, ъгълът на наклон на кристала 2 ≤ 160 °, използвайки функцията на въртене, ъгълът на наклон, напълно може да се провери визуално цялата положителна и обратна страна на валката и ръбовете.

• Ергономично проектиране

晶圆检查系统的LCD显示屏

LCD дисплеят на системата за проверка на ваферите може да предостави на оператора по-интуитивно визуално изживяване, което ясно показва текущите елементи и реда на проверката, параметрите за дебютиране са ясни с един поглед.

Ръчното бързо освобождаване на вакуумния носител на системата за проверка на ваферите подобрява комфорта и ефективността на оператора.

Случаи на приложение за проверка на дефекти на вафера

晶圆缺陷检查

晶圆缺陷检查

Серия AWLТехнически спецификации на системата за проверка на ваферите

Модел

AWL046

AWL068

Размер на ваферата (спецификация SEMI)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

Минимална дебелина на пластината

150μm

180μm

тип

Отворена кутия (SEMI Stad.25(26)-слот)

Брой кутии

1 Port

Проверка на настройките на режима

Пълна проверка / Четна проверка / Четна проверка / Ръчен избор

Сканиране на вафери в кутията

Предварително позициониране на вафера

Позициониране на ваферата

Безконтактно позициониране на квадратен / V слот с поддръжка за настройки в посока 0 °, 90 °, 180 °, 270 °.

Проверка на функциите

Микропроверка

Макро проверка на кристала

Макро проверка на кристала 1

Макро проверка на кристала 2

Адаптиране на микроскоп

SOPTOPЗлатен микроскопMX68R

Превозна станция

6 инча четирислойна механична подвижна платформа, ниска ръчна позиция за регулиране на посоката X и Y; Подложка за вафери, която може да се върти на 360°; Обхват на движение 228 mm (посока X) × 170 mm (посока Y) Обхват на наблюдение:
170mmX170mm ; с дръжка за съединение, която може да се използва за бързо движение в целия диапазон на хода;

8 инча четирислойна механична подвижна платформа, ниска ръчна позиция за регулиране на посоката X и Y; Ваферни носачи, които могат да се въртят на 360 °, движещ се ход 280mm (посока X) × 210 mm (посока Y) Обхват на наблюдение:
210mm×210mm ; С дръжка за съединение, която може да се използва за бързо движение в целия диапазон на пътуване;

захранване

1P/220V/16A

Източник на вакуум

—70KPA

Онлайн запитване
  • Контакти
  • Компания
  • Телефон
  • Имейл
  • WeChat
  • Код за проверка
  • Съдържание на съобщението

Успешна операция!

Успешна операция!

Успешна операция!