

В момента AWL серия вафелни носители имат AWL046, AWL068 два модела, които могат да бъдат приложими за откриване на вафелни 4/6 инча, 6/8 инча вафелни откриване, широк обхват на адаптация и гъвкав, свободно настройваем режим на проверка, напълно в съответствие с ергономичния дизайн, удобна и лесна работа.
серията AWLПредимства на системата за проверка на ваферите
360° макро проверка

Системата за проверка на ваферите от серията AWL разполага с макроинспекционна ръка, която може да постигне 360 ° въртене на кристалната макроинспекция и кристалната гърбова макроинспекция 1, за да улесни откриването на рани и прах. Наклонът на ваферата може да бъде наблюдаван чрез упражняващата пръчка. Угълът на наклон на кристала ≤ 70 °, ъгълът на наклон на кристала 1 ≤ 90 °, ъгълът на наклон на кристала 2 ≤ 160 °, използвайки функцията на въртене, ъгълът на наклон, напълно може да се провери визуално цялата положителна и обратна страна на валката и ръбовете.
• Ергономично проектиране

LCD дисплеят на системата за проверка на ваферите може да предостави на оператора по-интуитивно визуално изживяване, което ясно показва текущите елементи и реда на проверката, параметрите за дебютиране са ясни с един поглед.
Ръчното бързо освобождаване на вакуумния носител на системата за проверка на ваферите подобрява комфорта и ефективността на оператора.
Случаи на приложение за проверка на дефекти на вафера


Серия AWLТехнически спецификации на системата за проверка на ваферите
Модел |
AWL046 |
AWL068 |
|
Размер на ваферата (спецификация SEMI) |
150mm/125mm/100mm |
200mm/150mm |
|
Минимална дебелина на пластината |
150μm |
180μm |
|
тип |
Отворена кутия (SEMI Stad.25(26)-слот) |
||
Брой кутии |
1 Port |
||
Проверка на настройките на режима |
Пълна проверка / Четна проверка / Четна проверка / Ръчен избор |
||
Сканиране на вафери в кутията |
● |
● |
|
Предварително позициониране на вафера |
● |
● |
|
Позициониране на ваферата |
Безконтактно позициониране на квадратен / V слот с поддръжка за настройки в посока 0 °, 90 °, 180 °, 270 °. |
||
Проверка на функциите |
Микропроверка |
● |
● |
Макро проверка на кристала |
● |
● |
|
Макро проверка на кристала 1 |
● |
● |
|
Макро проверка на кристала 2 |
● |
● |
|
Адаптиране на микроскоп |
SOPTOPЗлатен микроскопMX68R |
||
Превозна станция |
6 инча четирислойна механична подвижна платформа, ниска ръчна позиция за регулиране на посоката X и Y; Подложка за вафери, която може да се върти на 360°; Обхват на движение 228 mm (посока X) × 170 mm (посока Y) Обхват на наблюдение: |
8 инча четирислойна механична подвижна платформа, ниска ръчна позиция за регулиране на посоката X и Y; Ваферни носачи, които могат да се въртят на 360 °, движещ се ход 280mm (посока X) × 210 mm (посока Y) Обхват на наблюдение: |
|
захранване |
1P/220V/16A |
||
Източник на вакуум |
—70KPA |
||
