Основни характеристики на системата за проверка на 12 инча Olympus Wafer:

• Силно, надеждно и безопасно транспортиране

Системата за проверка на 12-инчовите пластини на Olympus продължава издръжливостта, надеждността и безопасността на предишното поколение модели, за да може безопасно и надеждно да транспортира 300-мм пластини, а тънките пластини Warped също могат да бъдат безопасно транспортирани.

• Ергономичен дизайн, лесен за работа

12-инчовата система за проверка на пластините на Olympus може да бъде свободно настроена в режима на проверка, като се взема предвид оперативността на задното инженерство в дизайна, като се обръща особено внимание на лесността на работа на оборудването. Двете модела са FOUP (Load Port) и FOSB.

Оптимизирането на макронаблюдателното положение на 12-инчовата система за проверка на ваферите на Olympus и централизираното разположение на оперативните единици подобряват оперативната ефективност на оборудването.

Автоматична система за проверка на 300 mm вафери AL120-12 Технически характеристики